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[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
成荣 王希远 朱煜 杨开明
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以工件台系统的子系统掩模台系统的线管组件为例,以减小线管组件扰动力波动、提高掩模台运动性能为目的,建立了线管组件有限元模型,对线管组件的主要结构参数进行了优化,提出了线管组件优化的一些准则,并进行了实验验证。实验表明:该有限元模型与实验相比的一阶频率误差在10%以内,验证了模型的准确性。仿真实
关键词：
工件台 线管组件 扰动力 结构优化
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
刘涛 杨开明 朱煜
前馈控制器是光刻机工件台在高加减速工况下实现纳米级运动精度的关键环节。该文针对传统情况下四阶前馈拟合逆模型能力较差、难以完全消除参考轨迹导致重复性误差的问题,提出了一种以四阶前馈为基础,外加有理分式补偿器的前馈控制架构,并针对该有理分式补偿器控制参数整定的问题,提出了一种数据驱动的参数整定方法。该方法利用系统辨识的相关规则,将前馈补偿器参数整定过程的非凸优化问题转化为凸优化问题,进而给出了全局最优参数整定方法以及参数迭代过程中梯度、 Hessian矩阵的无偏估计方法;通过光刻机工件台的实验验证了所提参数整定方法具有收敛性。实验结果表明:所提出的补偿前馈能够有效消除四阶前馈未消除的残余误差。
[期刊] 实验技术与管理
[作者]
蒙博斌 马海鹏 田帅 王璋奇
分析和提高铁塔杆件的承载能力对于预防铁塔倒塌事故具有重要意义。鉴于此，该文结合铁塔结构有限元分析和虚拟仿真分析，研发了一套铁塔结构强度虚拟仿真试验系统。将输电铁塔简化成平面有限元模型，并采用Python编写了铁塔的有限元虚拟仿真分析程序，得到铁塔杆件在不同载荷下的内力变化规律，以及铁塔受压构件的承载能力；使用可视化方法直观展示铁塔的结构模型、杆件应力、杆件承载力以及杆件应力随载荷变化和分布状态，并模拟实际输电铁塔的加载过程。通过该仿真试验系统，技术人员可了解铁塔结构的受力情况，便于优化铁塔杆件材料和辅助材的布置方案，从而提高杆件的实际承载力，并完善铁塔结构的设计。
[期刊] 工业工程与管理
[作者]
顾浩然 郭本海 龙卓茜 乐为
基于专利合作数据，构建中国光刻机技术创新网络，运用社会网络分析法对当前中国光刻机技术创新网络的静态、动态结构特征进行分析；进一步，构建动态知识流动仿真模型对不同优化策略进行比较。结果表明：中国光刻机技术创新网络规模呈明显扩大趋势，逐步呈现以上海微电子等研发单位为核心节点的“核心-边缘”结构，产学研合作以“产-学”模式为主；光刻胶、光刻气体等配套设施研发机构处于网络边缘与技术链上下游节点技术交流水平有限；新加入网络节点对网络知识水平提升的贡献较小，且与网络合作紧密程度不高；研发方向优化、产学研合作模式优化、节点进退出机制优化三种优化策略均对网络知识水平提升具有显著调节作用，对中国光刻机技术创新网络均衡性及发展潜力的提升有着重要意义。
[期刊] 湖南农业大学学报(自然科学版)
[作者]
徐玉娟 吴明亮 官春云 李洁
针对所设计的2SF–0.6型施肥机,利用Simulation软件对其关键部件进行静态有限元分析与优化,得到了肥料箱箱体壁厚取值为1 mm、输送转轴上的搅拌器直径6 mm、机架的矩形钢管厚度2 mm;对施肥机进行模态分析表明,输送文献转轴与抛撒转轴的转速取值应避开975.84~1 463.76 r/min,优化后整机的10阶模态频率均远离外部激励振源的回转振动频率20.33 Hz,可以有效避免共振的产生。
关键词：
施肥机 结构优化 模态分析
[期刊] 数量经济技术经济研究
[作者]
龚朴 赵海滨 司继文
本文考虑了赎回、回售以及提前转换等条款 ,建立了可转换债券的定价模型。提出了对应于不同条款的边界条件 ,导出了有限元方法的求解格式。对可转换债券的价值进行了数值模拟 ,讨论了赎回、回售条款对可转换债券价值的影响。对民生转债 (10 0 0 16 )和钢钒转债 (12 5 6 2 9)等两只可转换债券的价值进行了数值模拟 ,将理论值与市场值进行了比较。
关键词：
可转换债券 有限元方法 数值模拟
[期刊] 中国农业大学学报
[作者]
李成志 梁宗敏 剧锦三
为了给空间索杆单元杂交结构的温室提供设计依据,以异形结构温室为例,利用大型有限元分析软件ANSYS10.0对该温室结构进行了静力线性有限元分析。计算得到3种荷载工况下结构主要构件的应力和最大挠度值:上弦杆σmax=170 MPa,ωmax=26 mm;下弦杆σmax=42.5 MPa,ωmax=20 mm;立柱σmax=29.3 MPa,ωmax=20mm;环梁σmax=55.3 MPa,ωmax=20 mm;檩条σmax=72.6 MPa,ωmax=26 mm。应力和变形结果均满足结构强度要求。该有限元分析方法可以推广到类似的温室结构的空间索杆单元杂交结构。
[期刊] 中国科技论坛
[作者]
杨武 陈培 Gad David
在当前中美贸易摩擦升级、“卡脖子”技术频繁出现的背景下，研究光刻技术扩散与动态演化对攻克“卡脖子”技术、突破全局具有重要意义。本文利用专利引证数据构建引文网络，并通过局部向前搜索、局部向后搜索和关键路径3种不同的主路径分析方法来描述光刻技术知识扩散路径，进行对比分析，并对光刻技术动态演化的阶段进行了识别与分析。研究结果表明：美、日、德先发优势明显，光刻技术的扩散由台积电、阿斯麦等大公司主导；技术发展前期，主要侧重器件制造和工艺的改进，而在后期则注重光刻材料的研发，从2015年开始技术扩散方向主要集中在EUV光刻胶材料；与全球范围内光刻技术扩散趋势相比，我国进入光刻领域较晚，技术扩散能力不强且尚未出现在技术扩散主路径中。本研究从技术扩散路径和技术动态演化两个角度揭示了光刻技术扩散的客观规律和特征，丰富了“卡脖子”技术的理论研究，为我国技术路径选择提供企业和技术层面的决策支持与经验依据，以期对突破发达国家的核心技术锁定带来一定的启示。
[期刊] 湖南农业大学学报(自然科学版)
[作者]
陈健琼 孟茁超 李斌 陈伯望
研究砖混结构房屋阳台荷载通过挑梁传播到房屋的横墙和纵墙上的分配情况.采用14节点56自由度高阶有限元程序SDSAP,提出和讨论了几种计算模型,用集中荷载和力矩代表房屋阳台荷载(包括阳台自重、板、栏板及活荷载)进行了大量的数值分析,最后归纳出房屋横墙和纵墙各自承受阳台荷载的分担比例.这一结果对房屋墙体强度和基础宽度的计算与设计具有重要的参考价值.
[期刊] 中国农业大学学报
[作者]
黄文竹
在某些特定条件下,Richards方程的解在时空上呈现陡峭的锋面。为能有效地模拟具有对流占优特性的非饱和多孔介质中的水流问题,推广一种内部惩罚间断有限元(Interior penalty discontinuous Galerkin,IPDG)方法应用于一维非饱和土壤水入渗问题的模拟。针对具有van Genuchten-Mualem模型和Dirichlet入渗边界条件的Richards方程,分别采用间断有限元法和标准有限元方法求解。借助于相对L2模和相对最大模误差进行讨论。几种不同质地的均质土壤水入渗的数值算例结果表明:相比标准有限元方法,间断有限元方法在选取的4种不同网格剖分单元结点上能够有...
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
包劲青 杨晨旭 许建国 刘洪霞 王高成 张广明 程威 周德胜
以有限元方法为基础,采用2套方程描述水力压裂过程中岩石变形、裂缝扩展、裂缝内流体流动和滤失等关键力学问题。通过同步求解2套耦合有限元方程,建立水力压裂全三维全耦合数值模拟模型。通过数值模型和经典的水力压裂物理实验对比,在流体净压力、裂缝宽度、裂缝长度及裂缝扩展模态等方面数值实验结果和物理实验结果具有良好的一致性。模型得到经典物理实验验证,同时表明裂缝宽度即使在微米级别水力压裂理论中的立方体定律仍然适用。
关键词：
水力压裂 全三维模型 有限元 实验验证
[期刊] 工业工程
[作者]
吴立辉 石津铭 金克山 张洁
为求解具有动态性、实时性、多约束、多目标特点的晶圆光刻区调度问题，提出一种基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻区实时调度方法。设计引入门控循环单元学习光刻区历史调度决策与状态的时序信息，为双深度强化学习模型提供辅助决策信息；设计双深度强化学习模型的输入状态空间、输出动作集，并面向晶圆最小化最大完工时间和晶圆准时交货率指标设计多目标奖励函数，为智能体优化调度输出；设计设备专用性约束与掩模版约束的解约束规则与调度方法相结合，提高调度方案实施的实用性。通过某晶圆制造企业实际算例，将该方法与传统双深度强化学习和光刻区启发式规则方法比较，该方法均为最优，证明该方法解决此问题的有效性。
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
石杰 李庆斌
准脆性材料的结构破坏试验会引起尺寸效应现象,相似模型的结果不能简单地由相似关系换算至原型。该文利用扩展有限元方法,研究了预制缝重力坝的破坏过程和极限承载力。同时,为揭示结构承载力的尺寸效应,建立了一系列几何相似的离心模型和重力加速度模型(不考虑自重相似),并进行了超载破坏评价。结果表明:随着结构尺寸的增加,离心模型的极限承载力大致呈指数衰减趋势下降,并逐渐趋于稳定值;重力加速度模型的极限承载力首先呈指数衰减趋势下降,当超过一定尺寸范围后,又大致呈线性增长;断裂过程区相对长度和自重应力效应分别是结构强度尺寸
[期刊] 北京林业大学学报
[作者]
张鳌 冀晓东 丛旭 戴显庆
风灾是林木发生破坏的主要原因之一，研究树木结构特征以及受力特点能够深入了解树木在受风荷载作用时各个部位的应力状态，确定其易发生破坏的区域，从而采取对应措施保证林木的安全稳定性。运用线性滤波法可以模拟实际状态下的脉动风模型；利用有限元技术可建立树木的有限元模型。结合两者可以模拟树木受动力风荷载作用的过程，并可计算树木各个部位的应力状态和位移等参数。模型搭建过程分为２个部分：风模拟，即运用线性滤波法编程计算得到随机的时程风场，再通过计算转换为脉动风荷载并施加于单株林木；树的模拟可根据单株树木各部分密度、弹性模量等与树高线性相关的假设，采用ＡＮＳＹＳ中的参数化建模法（ＡＰＤＬ）编程得到树木模型。最后．．．
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
赵海燕 吴骏巍 陆向明 简波 李宏伟
焊接变形会对焊接件的应用造成很大影响,进行结构件焊接变形的高精度和高效率预测具有重要的工程意义。该文针对大型薄壁圆筒件,应用局部-整体映射法对其环焊缝的焊接过程进行了有限元分析,得到了3种不同焊接顺序下的筒体变形结果。计算结果表明:相比于环缝一段焊和环缝两段焊,对环缝分成四段焊接情况下圆筒变形量最小,其数值相比于环缝一段焊减少约17%。将局部-整体法计算结果与热弹塑性法和实验方法所得结果进行了对比,三者吻合较好,但局部-整体法的计算用时仅为热弹塑性法的约1/6。
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