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[期刊] 工业工程
[作者]
闵雁 伍乃骐
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难。目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作。本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点。基于这些分析,指出了进一步的研究方向。
[期刊] 工业工程与管理
[作者]
李友 江志斌 李娜 李程
首先论述了投料策略对于半导体晶圆制造系统性能提升的重要性;随后将投料策略划分为常规投料策略、分产品分层控制投料策略、投料派工综合策略三类,并从这三个方面分别对投料策略进行了细致的归纳与具体的分析。最后,指出了投料策略未来的发展方向和存在的问题。
关键词：
晶圆制造 投料策略 派工规则 集成
[期刊] 工业工程与管理
[作者]
马慧民 许圣良 叶春明 张爽
对半导体制造设备的预维修调度问题进行了研究,建立了半导体制造设备预维修调度的数学模型,分别提出了用于求解该问题的启发式方法和粒子群算法方案,阐明了两种算法方案的具体实现过程。通过对仿真实例进行计算和结果比较,表明了粒子群算法优于启发式方法,取得了不错的优化效果。
[期刊] 实验技术与管理
[作者]
汪家奇
为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感10510-1 Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量。
关键词：
半导体加工设备 真空传感器 皮拉尼传感器
[期刊] 工业工程与管理
[作者]
全鹏 李娜 江志斌 闵亚能
针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿真实验得到判断矩阵,然后用层次分析法来选择各设备的派工规则,并进行了敏感性分析,为半导体晶圆制造系统的科学管理提供了有效的实现途径。
[期刊] 科技管理研究
[作者]
张晓冬 任大伟
云制造服务组合评价理论与方法的发展是推动云制造走向智能化和自动化的重要因素，但云制造服务组合评价是一个多学科交叉的动态问题，因而难以形成统一的评价体系或是得出准确结果。为此，利用中国知网、万方数据库、爱思唯尔数据库和IEEE等四大引文数据库检索梳理2017—2022年国内外云制造服务组合相关文献，将云制造服务组合流程划分为用户需求发布、任务分解、云平台处理机、服务匹配、服务组合和资源匹配等六大模块，研究发现：现有评价方法主要包括定性与定量结合评价、多属性决策评价、静态与动态结合评价3种类型；在基于云制造服务组合、“工业4.0”生产和仿真实验3个集合交集的建模中，多主体建模方法因适合描述云制造的不确定性、分布性和动态性而常被用来仿真云制造服务系统中的实际问题。最后根据对已有相关文献的梳理研究，提出云制造服务组合领域今后有待解决或改善的四大问题：评价稳定性问题、评价方法实际应用有效性问题、应用数据缺乏问题和技术应用可靠性问题。
关键词：
云制造 服务组合 多主体仿真 评价方法
[期刊] 资源科学
[作者]
马北玲 敖曈 朱康福 李勇刚 何天祥
【目的】本文关注半导体制造业中基于数字技术的水资源绿色管理问题，从技术赋能角度分析建立水资源绿色管理的综合框架，为半导体制造业的数字技术应用和行业绿色发展提供理论范式和实践指导。【方法】通过对国内外相关主题文献进行系统梳理，吸收多学科解决方案来构建新的循环经济模式，建立了半导体制造企业的水资源绿色管理系统方案，并采用案例分析方法，选择一家典型的半导体制造企业，深度剖析技术框架应用过程。【结果】(1)基于循环经济模式的“减量化，再利用，再循环”3R原则，采用系统分析的方法，构建了数字技术赋能水资源绿色管理的理论模式。(2)在理论模式中阐释了从源头到终端各生产环节的数字技术赋能内涵、特征与作用，分析3R原则框架下各企业采取的具体措施，揭示了数据技术赋能水资源绿色管理的作用路径。(3)通过华东某半导体制造企业的案例研究，实现了水资源智能绿色管理技术方案的实践探索，其2020—2022年数据的变化趋势表明，数字技术创新与水资源绿色管理的收益基本呈正相关，且创新幅度越大所获收益就越高。【结论】数字技术可以为半导体制造企业提供创新的水资源绿色管理方案，从而提升企业的竞争力，对处在新发展阶段的中国半导体制造业强化数字技术创新主体地位、提升水资源绿色智能管理具有启示意义。
[期刊] 图书情报工作
[作者]
许琦
将启发式方法作为技术范式的特征指示,以启发式方法的不连续性和稳定性为切入点,基于专利引证网络分析半导体制造领域技术范式和技术轨迹的发展和演化过程。从美国专利数据库中采集55 229项1976年至2006年授权的半导体制造领域的相关专利,从专利数据集NBER中查询得到专利引证关系,利用网络分析软件Pajek构建专利引证网络。应用搜索路径连接统计法和搜索路径节点对统计法计算专利引证路径的连接度,提取技术进化轨迹。以技术进化分叉为切入点,从技术进化轨迹连续性和稳定性的角度对半导体制造技术各个发展阶段进行界定。分析各个发展阶段中专利的适用范围、技术背景、解决方案等,从中提炼技术启发式方法,进而分析技术...
[期刊] 工业工程
[作者]
王恒 张志胜 刘飏
交货期设置是晶圆制造车间控制的重要任务之一。根据统计分析和排队理论提出3层结构交货期设置模型预测交货期。采用固定在制品(Constant WIP,CONWIP)投料保持系统在制品恒定和物料流程稳定,提出最大积聚未投放量法确定物料投放时间,采用基于模拟的等待时间分布估计等待时间。实例表明,该模型简单有效,提高了交货期预测的准确性。
关键词：
交货期设置 晶圆制造 固定在制品
[期刊] 工业工程
[作者]
郭永辉
针对晶圆制造系统的多重入特性,提出了层周期、逻辑层数等概念。借鉴物理学中振动理论的基本思想设计调度优化方法,当生产偏离预期的控制目标时,通过人为地施加作用力,即动态调整各产品的加工优先级,使各产品逐渐逼近预期控制目标,保证产品正常产出。进一步的仿真验证也说明了该调度优化方法能在提高订单准时交货率的同时缩短生产周期时间。
关键词：
晶圆 多重入 调度优化
[期刊] 现代管理科学
[作者]
杨利
我国国企存在“内部人控制”和如何控制“内部人控制”的问题已经成为人们关注的课题。本文综述了我国多名学者的看法和观点,最后也提出了自己的见解。
[期刊] 改革与战略
[作者]
岳玲
管理控制是绩效管理的理论基础,而绩效管理则是企业实施管理控制的一种手段,从管理控制的角度分析绩效管理的设计思想和方法是研究上的一种创新,也将给实际工作带来一定的借鉴意义。随着组织工作方式以及对人性假设认识的变化,管理控制的基本思想经历了从简单控制、结构控制到协和控制的演变,绩效管理体系的设计也随之发生变化。
关键词：
管理控制 绩效管理 协和控制
[期刊] 会计之友
[作者]
郑卓如 郑石桥
内部控制评估是一个重要的理论和实务问题。针对内部控制评估的研究文献大致分为四个主题:内部控制判断的一致性;内部控制评估绩效影响因素;内部控制缺陷认定影响因素;内部控制评估技术。文章在对相关文献进行综述的基础上,提出内部控制评估的未来研究方向。内部控制评估研究在方法和内容方面都需要扩展,从研究方法来看,在继续采用实验法的同时,需要大力发展问卷调查、档案研究和案例研究;从研究内容来看,需要扩展权变因素的范围。
[期刊] 财会通讯
[作者]
宋晓华 祁晨 祖丕娥
随着各国内部控制相关法律法规的出台,围绕内部控制的研究日渐广泛而深入。本文将我国内部控制研究,分为基本理论研究、控制效率研究、评价研究以及与相关学科融合研究四类,通过梳理相关文献总结现有研究成果,试图达到对内部控制研究的综合认识,并为今后研究提供参考。
关键词：
内部控制 风险管理 研究综述
[期刊] 企业经济
[作者]
罗荷英 鲍树琛
内部控制评价是保证企业有效实施内部控制制度的重要方式,可以促使企业更好地实现内部控制的目标。本文就这一领域研究进行综述,梳理了国内外学者研究的内部控制因素指标、内部控制评价指数等。最后,本文指出了目前内部控制评价研究中存在的不足,认为在当前中国高度重视企业内部控制的情况下,应建立适合于本国国情的内部控制评价体系,这对实践应用具有指导意义和借鉴价值。
关键词：
内部控制制 评价体系体系 内部控制指数
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