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[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
刘涛 杨开明 朱煜
前馈控制器是光刻机工件台在高加减速工况下实现纳米级运动精度的关键环节。该文针对传统情况下四阶前馈拟合逆模型能力较差、难以完全消除参考轨迹导致重复性误差的问题,提出了一种以四阶前馈为基础,外加有理分式补偿器的前馈控制架构,并针对该有理分式补偿器控制参数整定的问题,提出了一种数据驱动的参数整定方法。该方法利用系统辨识的相关规则,将前馈补偿器参数整定过程的非凸优化问题转化为凸优化问题,进而给出了全局最优参数整定方法以及参数迭代过程中梯度、 Hessian矩阵的无偏估计方法;通过光刻机工件台的实验验证了所提参数整定方法具有收敛性。实验结果表明:所提出的补偿前馈能够有效消除四阶前馈未消除的残余误差。
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
成荣 王希远 朱煜 杨开明
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以工件台系统的子系统掩模台系统的线管组件为例,以减小线管组件扰动力波动、提高掩模台运动性能为目的,建立了线管组件有限元模型,对线管组件的主要结构参数进行了优化,提出了线管组件优化的一些准则,并进行了实验验证。实验表明:该有限元模型与实验相比的一阶频率误差在10%以内,验证了模型的准确性。仿真实
关键词：
工件台 线管组件 扰动力 结构优化
[期刊] 工业工程与管理
[作者]
顾浩然 郭本海 龙卓茜 乐为
基于专利合作数据，构建中国光刻机技术创新网络，运用社会网络分析法对当前中国光刻机技术创新网络的静态、动态结构特征进行分析；进一步，构建动态知识流动仿真模型对不同优化策略进行比较。结果表明：中国光刻机技术创新网络规模呈明显扩大趋势，逐步呈现以上海微电子等研发单位为核心节点的“核心-边缘”结构，产学研合作以“产-学”模式为主；光刻胶、光刻气体等配套设施研发机构处于网络边缘与技术链上下游节点技术交流水平有限；新加入网络节点对网络知识水平提升的贡献较小，且与网络合作紧密程度不高；研发方向优化、产学研合作模式优化、节点进退出机制优化三种优化策略均对网络知识水平提升具有显著调节作用，对中国光刻机技术创新网络均衡性及发展潜力的提升有着重要意义。
[期刊] 中国科技论坛
[作者]
杨武 陈培 Gad David
在当前中美贸易摩擦升级、“卡脖子”技术频繁出现的背景下，研究光刻技术扩散与动态演化对攻克“卡脖子”技术、突破全局具有重要意义。本文利用专利引证数据构建引文网络，并通过局部向前搜索、局部向后搜索和关键路径3种不同的主路径分析方法来描述光刻技术知识扩散路径，进行对比分析，并对光刻技术动态演化的阶段进行了识别与分析。研究结果表明：美、日、德先发优势明显，光刻技术的扩散由台积电、阿斯麦等大公司主导；技术发展前期，主要侧重器件制造和工艺的改进，而在后期则注重光刻材料的研发，从2015年开始技术扩散方向主要集中在EUV光刻胶材料；与全球范围内光刻技术扩散趋势相比，我国进入光刻领域较晚，技术扩散能力不强且尚未出现在技术扩散主路径中。本研究从技术扩散路径和技术动态演化两个角度揭示了光刻技术扩散的客观规律和特征，丰富了“卡脖子”技术的理论研究，为我国技术路径选择提供企业和技术层面的决策支持与经验依据，以期对突破发达国家的核心技术锁定带来一定的启示。
[期刊] 国际金融研究
[作者]
许健秋
欧洲央行行长之争的台前幕后…………………许健秋５月２日举行的欧盟特别首脑会议作出了三项决议，其中确定１１个成员国明年１月１日启动欧元、各成员国按照其在欧洲汇率机制中的双边汇率加入单一货币机制的问题，得到欧盟国家的一致赞同；而未来欧洲中央银行行长这一看...
[期刊] 工业工程
[作者]
吴立辉 石津铭 金克山 张洁
为求解具有动态性、实时性、多约束、多目标特点的晶圆光刻区调度问题，提出一种基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻区实时调度方法。设计引入门控循环单元学习光刻区历史调度决策与状态的时序信息，为双深度强化学习模型提供辅助决策信息；设计双深度强化学习模型的输入状态空间、输出动作集，并面向晶圆最小化最大完工时间和晶圆准时交货率指标设计多目标奖励函数，为智能体优化调度输出；设计设备专用性约束与掩模版约束的解约束规则与调度方法相结合，提高调度方案实施的实用性。通过某晶圆制造企业实际算例，将该方法与传统双深度强化学习和光刻区启发式规则方法比较，该方法均为最优，证明该方法解决此问题的有效性。
[期刊] 林业科学
[作者]
郑焕祺 朱科 杜光月 周玉成
【目的】提出一种智能前馈PID高精度控制方法,解决30 m~3气候室控制系统由于加水而出现振荡、使得控制精度达不到标准要求的问题以及系统稳定性和稳态响应较差的现象。【方法】当露点水箱需要补水时,在分析露点水箱温度的基础上,设计前馈PID控制系统和执行机构。待补水水温达到露点水箱温度时,系统自动进行补水,使得经过补水的露点水箱温度扰动最小化,形成全局双闭环控制系统结构,实现动态高精度控制。【结果】1) 30 m~3气候室的温度和相对湿度控制精度分别在±0.1℃和±1.5%内; 2)设定温度23.0℃,相对湿度45.0%,在3～28天内持续运行条件下,非大惯性扰动下的偏差不超过±0.1℃和±2%,且每次自动补水后温湿度振荡时间小于1 h; 3)冬季条件下设定温度23.0℃和相对湿度45.0%时,达到设定参数值的过渡过程不超过4 h。【结论】利用智能前馈PID控制方法,能有效解决30 m~3气候室控制系统稳定性和稳态响应较差的现象,控制系统精度和控制过程品质可达到现行国际标准要求。
关键词：
甲醛及VOCs检测 气候室 前馈控制
[期刊] 统计与决策
[作者]
李松臣 张世英
本文首先研究门限协整的非参数检验和估计方法,利用局部多项式估计在边界处的良好性质及本身具有的局部性质给出了门限协整的检验和估计步骤;其次用Monte Carlo模拟方法对门限协整关系进行非参数估计,估计结果与真实的数据生成过程非常接近;最后对我国经济增长和农业发展状况的关系进行门限协整分析,表明它们不具有传统意义下的一般协整关系,但具有门限协整关系。
关键词：
门限协整 非参数方法 局部多项式估计
[期刊] 北京林业大学学报
[作者]
孟兆新 肖定福 尹航 李尚 张聪
并联式曲线送料平台是用于实现细木工带锯机曲线切割的自动进给平台，由于该机构运动支链多，机构误差大，难以实现平台末端位姿的精确进给。为了实现并联式曲线送料平台的末端位姿误差补偿，本文从连杆运动学位姿建模出发，利用机构运动学逆解的分析方法，得到各关节参数与送料平台位姿参数关系方程，再运用尺寸矢量链法建立机构误差、机构参数与动平台位姿误差的误差正解数学模型，分离得到与动平台位姿参数有关的误差传递矩阵，最终得到由各轴驱动来补偿平台机构误差的方法。运用该方法对并联式曲线送料平台误差实例进行计算分析，结合ＭＡＴＬＡＢ计算得到送料平台各轴随加工曲线变化的误差补偿实际值，数值导入到各轴进给补偿程序中对曲线送料．．．
[期刊] 财会通讯
[作者]
王永乐 单怡雯
本文以2012~2016年中小板民营上市公司为研究对象,实证分析控股股东从"台前到幕后"(即控股股东不担任企业董事长或者总经理)对企业研发支出的影响。结果表明:控股股东不担任企业的董事长或总经理之后对企业的掏空动机增强,控股股东不再以企业的长远发展为目的,而是倾向于从企业攫取资源,对企业研发支出产生负面影响;进一步研究得出控股股东退居幕后的时间越长,控股股东的掏空动机表现的更加明显,企业的研发支出也会更少。
关键词：
控股股东 台前幕后 研发支出
[期刊] 财政研究
[作者]
徐曙娜
一、道路成本的确认 道路的成本主要是指建设和维修道路的成本。在补偿道路的成本时,应考虑使用道路所产生的外部成本,使外部成本内部化,才能使交通流量达到最佳。外部成本可以划分为使用者对使用者的影响(有时也称作“俱乐部影响”)和使用者对非使用者的影响。在前一种类型中,交通状况以拥挤为特征。从道路使用者不顾自己的行为对其他人的交通状况造成的影响这种意义上说,拥挤问题对单个的使用者来说是外部性的,但对所有的道路使用者这个“俱乐部”而言,它又是内部性的。运输网络的
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
陈天元 周钰颖 高安
在光刻机的对准、曝光和量测等过程中,存在量程范围小,测量精度要求极高的套刻标记。这些套刻标记在实现特定功能的同时,会受到多种误差的影响,比如标记线宽与设计差异、标记线条边缘粗糙度、标记边缘效应等。该文旨在解决光刻套刻量测领域中的问题,特别是针对业界常用的微型衍射套刻(micro diffraction-based overlay,μDBO)标记,通过对穿线套刻情形进行量测过程的仿真研究,提出了一种借助光刻成像仿真软件进行标记量测结果仿真的方法。该文运用自制代码的DrM软件和商业仿真软件HyperLith作为工具,两者的仿真结果均定性还原了实验中探测到的特殊亮暗线现象,验证了该方法用于量测仿真的可行性。此外,该文还对匹配实验仪器的穿线套刻μDBO标记设计、照明波长、照明配置和待测信号区域等参数进行仿真优化,输出了基于目前实验配置的优化标记与方案。
[期刊] 中国人力资源开发
[作者]
张华威 凌文辁
本文在阐述前馈式面谈技术内涵和实施原则的基础上,分析前馈式面谈技术的作用机制,探讨前馈式面谈技术的具体步骤,展望其在人力资源管理中的应用。
关键词：
前馈式面谈 欣赏式探寻 访谈程序
[期刊] 保险研究
[作者]
张绍阳
随着我国保险业的深入发展 ,人身保险产品的种类越来越丰富 ,其中损失补偿型人身保险所占比重呈现出日益增长的趋势。然而 ,由于我国《保险法》对损失补偿型人身保险产品的补偿方法未加以明确 ,导致保险人在该类产品的后续服务中困难重重 ,特别是在理赔服务中 ,当客户存在重复保险以及其他第三方在先给付的情况下 ,尽管大多数的保险条款已经明确规定了“若已通过其他途径支付了部分医疗费用的 ,保险人承担剩余部分医疗费用的保险责任” ,但因为法律未明确规定损失补偿型人身保险的补偿方式 ,使上述条款的合法性受到质疑 ,从而理赔纠纷不断 ,导致损失补偿型人身保险的经营似乎处于边缘地带 ,直接影响了损失补偿型人身保险...
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