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[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
陈天元 周钰颖 高安
在光刻机的对准、曝光和量测等过程中,存在量程范围小,测量精度要求极高的套刻标记。这些套刻标记在实现特定功能的同时,会受到多种误差的影响,比如标记线宽与设计差异、标记线条边缘粗糙度、标记边缘效应等。该文旨在解决光刻套刻量测领域中的问题,特别是针对业界常用的微型衍射套刻(micro diffraction-based overlay,μDBO)标记,通过对穿线套刻情形进行量测过程的仿真研究,提出了一种借助光刻成像仿真软件进行标记量测结果仿真的方法。该文运用自制代码的DrM软件和商业仿真软件HyperLith作为工具,两者的仿真结果均定性还原了实验中探测到的特殊亮暗线现象,验证了该方法用于量测仿真的可行性。此外,该文还对匹配实验仪器的穿线套刻μDBO标记设计、照明波长、照明配置和待测信号区域等参数进行仿真优化,输出了基于目前实验配置的优化标记与方案。
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
成荣 王希远 朱煜 杨开明
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以工件台系统的子系统掩模台系统的线管组件为例,以减小线管组件扰动力波动、提高掩模台运动性能为目的,建立了线管组件有限元模型,对线管组件的主要结构参数进行了优化,提出了线管组件优化的一些准则,并进行了实验验证。实验表明:该有限元模型与实验相比的一阶频率误差在10%以内,验证了模型的准确性。仿真实
关键词：
工件台 线管组件 扰动力 结构优化
[期刊] 实验技术与管理
[作者]
张敏 李松晶 刘航
提出了一种基于感光干膜的微流控模具制作方法。以50μm厚的感光干膜为主要原材料,设计并制作了不同微流道结构的干膜微流控模具。针对紫外曝光和显影主要环节的关键实验参数进行了选择优化。利用该工艺制作的干膜微流控模具,完成了不同结构和功能的微流控芯片的封装及应用。结果表明,与传统光刻微流控模具制作方法相比,干膜微流控模具制备工艺具有操作简单快速、成本低、无需昂贵实验设备和专业操作人员,且制作后的干膜微流控模具边界规则、图形分辨率高,应用效果良好。
关键词：
干膜 微流控模具 曝光 显影
[期刊] 科技进步与对策
[作者]
杨武 陈培 Gad David
以专利家族为研究视角,阐述技术路径动态演化过程中的路径依赖。专利家族自引会对技术主路径造成干扰,通过对主路径进行调整,提出一种修正技术主路径的新思路。研究发现:光刻技术在“投影对准和曝光系统—浸没式投影物镜—浸没式光刻材料—光刻胶”4个阶段经历了“路径消解—路径产生与路径依赖—路径消解与突破”的动态演化过程。在此过程中,以荷兰阿斯麦、德国蔡司和日本东京电子为代表的专利家族发挥重要作用。其中,以阿斯麦为核心的利益联盟垄断核心技术,强化光刻技术发展的路径依赖作用,占据市场领先地位。研究结论有助于深化对路径依赖理论的认知,通过揭示光刻技术路径演化过程及企业演化格局,为后发国家突破技术路径依赖提供了重要的实践启示。
[期刊] 工业工程
[作者]
吴立辉 石津铭 金克山 张洁
为求解具有动态性、实时性、多约束、多目标特点的晶圆光刻区调度问题，提出一种基于门控循环单元强化学习的晶圆光刻区实时调度方法。设计引入门控循环单元学习光刻区历史调度决策与状态的时序信息，为双深度强化学习模型提供辅助决策信息；设计双深度强化学习模型的输入状态空间、输出动作集，并面向晶圆最小化最大完工时间和晶圆准时交货率指标设计多目标奖励函数，为智能体优化调度输出；设计设备专用性约束与掩模版约束的解约束规则与调度方法相结合，提高调度方案实施的实用性。通过某晶圆制造企业实际算例，将该方法与传统双深度强化学习和光刻区启发式规则方法比较，该方法均为最优，证明该方法解决此问题的有效性。
[期刊] 工业工程与管理
[作者]
顾浩然 郭本海 龙卓茜 乐为
基于专利合作数据，构建中国光刻机技术创新网络，运用社会网络分析法对当前中国光刻机技术创新网络的静态、动态结构特征进行分析；进一步，构建动态知识流动仿真模型对不同优化策略进行比较。结果表明：中国光刻机技术创新网络规模呈明显扩大趋势，逐步呈现以上海微电子等研发单位为核心节点的“核心-边缘”结构，产学研合作以“产-学”模式为主；光刻胶、光刻气体等配套设施研发机构处于网络边缘与技术链上下游节点技术交流水平有限；新加入网络节点对网络知识水平提升的贡献较小，且与网络合作紧密程度不高；研发方向优化、产学研合作模式优化、节点进退出机制优化三种优化策略均对网络知识水平提升具有显著调节作用，对中国光刻机技术创新网络均衡性及发展潜力的提升有着重要意义。
[期刊] 中国科技论坛
[作者]
杨武 陈培 Gad David
在当前中美贸易摩擦升级、“卡脖子”技术频繁出现的背景下，研究光刻技术扩散与动态演化对攻克“卡脖子”技术、突破全局具有重要意义。本文利用专利引证数据构建引文网络，并通过局部向前搜索、局部向后搜索和关键路径3种不同的主路径分析方法来描述光刻技术知识扩散路径，进行对比分析，并对光刻技术动态演化的阶段进行了识别与分析。研究结果表明：美、日、德先发优势明显，光刻技术的扩散由台积电、阿斯麦等大公司主导；技术发展前期，主要侧重器件制造和工艺的改进，而在后期则注重光刻材料的研发，从2015年开始技术扩散方向主要集中在EUV光刻胶材料；与全球范围内光刻技术扩散趋势相比，我国进入光刻领域较晚，技术扩散能力不强且尚未出现在技术扩散主路径中。本研究从技术扩散路径和技术动态演化两个角度揭示了光刻技术扩散的客观规律和特征，丰富了“卡脖子”技术的理论研究，为我国技术路径选择提供企业和技术层面的决策支持与经验依据，以期对突破发达国家的核心技术锁定带来一定的启示。
[期刊] 清华大学学报(自然科学版)
[作者]
刘涛 杨开明 朱煜
前馈控制器是光刻机工件台在高加减速工况下实现纳米级运动精度的关键环节。该文针对传统情况下四阶前馈拟合逆模型能力较差、难以完全消除参考轨迹导致重复性误差的问题,提出了一种以四阶前馈为基础,外加有理分式补偿器的前馈控制架构,并针对该有理分式补偿器控制参数整定的问题,提出了一种数据驱动的参数整定方法。该方法利用系统辨识的相关规则,将前馈补偿器参数整定过程的非凸优化问题转化为凸优化问题,进而给出了全局最优参数整定方法以及参数迭代过程中梯度、 Hessian矩阵的无偏估计方法;通过光刻机工件台的实验验证了所提参数整定方法具有收敛性。实验结果表明:所提出的补偿前馈能够有效消除四阶前馈未消除的残余误差。
[期刊] 山西财经大学学报
[作者]
李树茂
在阅读教学中 ,借助视听手段可提高阅读效率 ;利用录音 ,可激发学生兴趣 ,培养其整体感知能力 ;利用影像 ,可突破难点 ,培养学生的分析思维能力。
关键词：
阅读教学 视听手段 阅读效率
[期刊] 企业管理
[作者]
徐乐江
今年,中国500强企业的整体规模和平均规模都较去年有较大幅度的提升,中国大企业正在成为世界上一支不容小觑的力量。但是我们应该注意到,但中国大企业的经营质量或者说竞争力与国际大企业仍有较大差距。一、"大而不强"仍是国有大企业的突出问题长期以来,按营业收入计算,中国大企业排行榜中前10名基本被国有企业牢牢占
[期刊] 科技进步与对策
[作者]
张贝贝 李存金 尹西明
产学研协同创新是突破关键核心技术“卡脖子”问题、实现科技自立自强的重要途径,但鲜有研究揭示面向关键核心技术创新的产学研协同机理。基于复杂系统管理理论,构建关键核心技术产学研协同创新机理系统框架,揭示产学研非线性互动协同创新规律,并以芯片光刻技术为例,借助社会网络分析法实证解析该框架。研究发现:(1)资源整合—主体交互—系统涌现是基于复杂系统管理视角提升产学研协同网络成效、加快关键核心技术突破的有效途径;(2)主导者—桥梁—辅助者权力分配规则能够有效促进多元主体在交互过程中通过嵌入性社会关系推动关键核心技术创新的价值增值;(3)模块化—松散耦合的网络结构能够消除主体间交互障碍、最大化结构红利,是产学研协同复杂网络在系统结构层面涌现的关键核心技术创新突破规律。最后,通过芯片光刻技术专利合作网络实证解析关键核心技术产学研协同创新机理,提出强化面向关键核心技术产学研协同创新、助力高水平科技自立自强的对策建议。
[期刊] 科技管理研究
[作者]
马兰梦 袁飞 李珑
为给"卡脖子"领域提供发展启示,利用情报学方法开展科研产出数据挖掘分析并建立"卡脖子"问题的情报学研究模式,按"情报学分析→‘卡脖子’领域发展特征→多层面启示"的路径进行:采用文献计量、共现与聚类方法,将分析出的发文量、主体排名、聚类和密度等文献特征与科研产出时序、科研地位、机构合作和领域技术等领域发展特征进行映射关联,从而归纳出"卡脖子"领域总体发展方向、未来趋势走向、竞争合作倾向和技术布局导向等启示。将此研究模式应用于芯片光刻领域的研究表明:光刻领域技术发展与S曲线基本吻合,目前科研产出处在衰退阶段;发文量美国排名第一、中国排名第三,中国科学院排名全球机构第一,但中国与美、日、韩、欧等的影响力差距甚远,且西方各合作集团的国际合作远少于其国内共同研究,技术壁垒依国界划分明显;研究热点包括辐照、光刻胶薄膜、硅、阵列、纳米、自组装以及光刻聚合物等方面,研究体系庞大、分支领域纷繁复杂。基于研究发现,提出我国在光刻领域应当基础研究与应用开发两手抓,并聚焦国内合作,在宏观、中观、微观层面形成政产学研合力;同时抓住技术转型机遇期,敏锐捕捉技术革新方向以提前布局。
[期刊] 国际经济合作
[作者]
贾峭羽 阎大颖 郭骏
本文首先对"境外经济贸易合作区"这一模式的背景和动机、发展现状、主要特征及经济功能进行了简要介绍,然后结合天津滨海新区的发展目标和功能定位,深入分析了天津市区政府支持本地企业发展境外经济贸易合作区,对滨海新区综合配套改革的各项重点任务以及深入贯彻国家对滨海新区战略定位的重要促进作用。
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