【摘要】微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在１毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成，能与微电子集成和接口，能进入其它机械所不能进入的空间。由于它有这些特点，所以能在特殊环境中发挥独特的作用，比如能应用于医疗技术领域，解决许多前所不能...