【摘要】微电子应用：中国硅工业腾飞之关键许居衍（中国华晶电子集团公司）郑茳（东南大学微电子中心）微电子技术（简称硅技术）是国民经济的倍增器，高新技术的驱动器和国家安全的稳定器，必须给予高度重视，力争从各个方面促进微电子工业（即硅工业）的健康发展。这里针对硅工...