【摘要】半导体封装测试系统等复杂制造系统的性能分析是项非常困难的任务。利用仿真模型构建两设备系统元模型，并以元模型为基石构建面向大规模复杂系统的近似解析方法是分析复杂制造系统的有效手段。为了快速准确地构建两设备系统元模型，提出了一种基于数据驱动仿真技术及人工神经网络的元模型构建方法。该方法以考虑缓存输送时间的两设备制造系统为研究对象，采用ＡＲＥＡＮ的二次开发技术实现仿真模型的自动配置、运行、统计，以生成人工神经网络所需案例，并通过比较分析ＢＰ、ＲＢＦ和ＣｈＥＢｙｓｈＥｖ这３类典型的函数逼近神经网络确定最优的人工神经网络模型。实验结果表明径向基函数密度为１２０的ＲＢＦ神经网络模型表现最优，其结果误差最小．．．