【摘要】利用开源／免费工具进行信息分析对科研活动、教学实践等具有重要实践意义。文章从操作角度对专利分析进行维度划分，对主要开源／免费工具进行对比分析，从工具的功能、易用、重复性等角度，遴选ＯｐｅｎＲｅｆｉｎｅ、ＢｉＢ ｅｘｃｅｌ、ｎＯｄｅ ｘｌ、ＶＯＳＶｉｅｗｅＲ ４个免费工具嵌入专利分析全流程，尤其ＯｐｅｎＲｅｆｉｎｅ的引入解决了专利分析的数据清洗环节为利用开源工具实现专业专利分析奠定基础，并利用极紫外光刻技术实际案例加以论证。本文为需要进行专业专利信息分析的对象，如大规模教学实践、预算有限的情报机构、短期需求的科研人员等，提供一种全流程的解决方案。