【摘要】为了提高氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度,通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体,采用SiH4和N2为反应气体,气相沉积Si3N4纳米粉体材料。利用朗缪尔探针技术测得沉积室中离子密度分布,获得气压为53Pa时,不同射频功率和不同位置处离子密度分布规律。通过TEM、IR和XRD技术对Si3N4纳米粉体材料微结构进行了分析。结果表明:尘埃等离子体技术制备的纳米Si3N4粉体材料为球形,均匀分布在20nm,并且具有β-Si3N4晶相。