【摘要】在半导体组合设备的晶圆加工过程中,常常要求晶圆重入,原子层沉积加工(ALD)就是典型的晶圆加工过程。对这样的系统实施调度是一个挑战性的问题。研究单臂组合设备的调度问题,目的在于求解ALD重入过程的最优调度。建立了系统的Petri网模型,利用该模型,可以通过比较非常有限的若干调度的生产节拍而得到其重入过程的最优调度。基于所建立的Petri网模型,开发出了基于eM-Plant的仿真系统,可以有效地获得给定调度的生产节拍。给定系统的参数可以有效地求得重入过程的最优调度。文中应用例子来说明所提出的方法的应用。