晶圆车间搬举作业环境的工效学评估与改善
2011-12-10分类号:R13
【部门】西安科技大学机械工程学院
【摘要】针对半导体企业晶圆生产车间作业人员中,普遍存在的肌肉骨骼劳损问题,基于典型晶圆车间掩膜加工区域的物料搬运过程,展开作业人员日常作业的搬举分析,识别出作业环境设计所造成的作业者肌肉骨骼劳损风险因素,并有针对性地提出作业设施的改善设计方案。仿真实验结果说明,改善实施方案能够有效改善作业者的作业环境,缓解产生肌肉骨骼劳损的风险。车间现场的局部应用也验证了其可行性与有效性。
【关键词】晶圆车间 搬举作业 肌肉骨骼劳损 作业环境 CATIA
【基金】陕西省教育厅科研究计划研究课题(09JK573)项目资助
【所属期刊栏目】工业工程与管理
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