【摘要】近代信息社会的基石——各种新型电子元器件的研制、生产都涉及微细加工技术。以超大规模集成电路的制造为例,所用硅材料的纯度几乎高于9个“9”,要经过几十道工序、采用上百种材料、进行线度和微米级或亚微米级的加工才能完成。微分析即是应用各种微观粒子束(电子束、离子束、激光束、X射线束)来观察和分析材料在微加工前后它的微区形貌、组分、结构以及痕量杂质的一门综合分析技术。应用该技术可以检测分析器件在生产与使用过程中发生的问题,以提高产