【摘要】交货期设置是晶圆制造车间控制的重要任务之一。根据统计分析和排队理论提出3层结构交货期设置模型预测交货期。采用固定在制品(Constant WIP,CONWIP)投料保持系统在制品恒定和物料流程稳定,提出最大积聚未投放量法确定物料投放时间,采用基于模拟的等待时间分布估计等待时间。实例表明,该模型简单有效,提高了交货期预测的准确性。