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扫描电子显微镜样品常规处理镀膜技术的改进

2007-12-15分类号:TH742

【作者】陈伟之  
【部门】沈阳农业大学分析测试中心 沈阳110161
【摘要】扫描电子显微镜是观察研究试材表面微观、超微观结构的大型精密仪器。在观察研究试材前,要对试材表面进行镀金膜处理,此处理消耗材料成本十分昂贵,阻碍大数量样品的科学研究。几年来,沈阳农业大学分析测试中心根据生物、农业研究中微观试材的特点,用自主设计的铂合金靶和铜合金靶组合使用,替代国外同类专用产品,成本降低80%,对大数量样品的科学研究、试材处理的结果优于国外同类专用产品处理结果,为科学研究工作创造了有利条件。
【关键词】扫描电镜显微镜  铂合金靶  铜合金靶  镀金膜处理  处理成本
【基金】
【所属期刊栏目】沈阳农业大学学报
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