【摘要】[目的/意义]构建创新、多层次的关键核心技术研究体系有助于把握技术发展的先手优势，抓住技术突破的重要时机。[方法/过程]基于Word2Vec模型进行文本向量化，通过CFDP算法确定核心技术，利用结构洞分析识别关键核心技术，并构建专利引文网络，运用关键路径法（Critical Path Method,CPM）探究技术发展的重要路径，提出一种关键核心技术研究方法体系。[结果/结论 ]以芯片光刻领域为例，验证该方法体系在关键核心技术识别及其路径分析方面的可行性。通过现有国家政策的查阅验证，实证结果具有合理性，该方法体系的实用性与有效性得到进一步验证。