【摘要】【目的】本文关注半导体制造业中基于数字技术的水资源绿色管理问题，从技术赋能角度分析建立水资源绿色管理的综合框架，为半导体制造业的数字技术应用和行业绿色发展提供理论范式和实践指导。【方法】通过对国内外相关主题文献进行系统梳理，吸收多学科解决方案来构建新的循环经济模式，建立了半导体制造企业的水资源绿色管理系统方案，并采用案例分析方法，选择一家典型的半导体制造企业，深度剖析技术框架应用过程。【结果】(1)基于循环经济模式的“减量化，再利用，再循环”3R原则，采用系统分析的方法，构建了数字技术赋能水资源绿色管理的理论模式。(2)在理论模式中阐释了从源头到终端各生产环节的数字技术赋能内涵、特征与作用，分析3R原则框架下各企业采取的具体措施，揭示了数据技术赋能水资源绿色管理的作用路径。(3)通过华东某半导体制造企业的案例研究，实现了水资源智能绿色管理技术方案的实践探索，其2020—2022年数据的变化趋势表明，数字技术创新与水资源绿色管理的收益基本呈正相关，且创新幅度越大所获收益就越高。【结论】数字技术可以为半导体制造企业提供创新的水资源绿色管理方案，从而提升企业的竞争力，对处在新发展阶段的中国半导体制造业强化数字技术创新主体地位、提升水资源绿色智能管理具有启示意义。