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机械特种加工教学案例:超声化学机械抛光实验

2023-09-15分类号:G642.423;TH16-4

【作者】许文虎   钟敏   石志新   陈建锋   李小兵
【部门】南昌大学机械工程系  
【摘要】针对机械类本科生教学需求,以科研项目为牵引,设计了机械特种加工教学案例“超声化学机械抛光(UVCMP)实验”。通过该案例,学生可全程参与蓝宝石UVCMP正交实验的设计与实施;学习并使用原子力显微镜、扫描电镜、透射电子显微镜等大型仪器表征样品特性;对蓝宝石UVCMP作用机理进行了深入探讨。该实验有利于学生激发科研兴趣,培养科研素养,启迪创新思维。
【关键词】本科生  教学改革  超声波特种加工  大型科研项目  蓝宝石衬底
【基金】江西省高等学校教学改革研究课题(JXJG-21-1-60);; 国家自然科学基金项目(51865030)
【所属期刊栏目】实验技术与管理
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