【摘要】为了提升单晶硅片的切片质量，建立了单晶硅棒多线切割的张力模型，并通过理论数据与实验数据的对比，验证了主轴在料摆辅助切片下轴向力模型的可靠性。以此为基础，设计了主轴轴向窜动实验装置，探究了轴承安装参数对主轴轴向窜动的影响规律。实验结果表明，过盈量将改变轴承结合部刚度，进而影响主轴轴向位移，轴向位移随着角接触球轴承过盈配合量的增大而增大，随着圆柱滚子轴承过盈配合量的增大而减小。当角接触球轴承过盈量为0.01mm、圆柱滚子轴承过盈量为0.03mm时，窜动量最小为1.61μm。该实验结论为多金刚线切片机主轴安装工艺优化及表面加工质量提升提供了理论依据。