【摘要】材料是制造业的基础，高端材料是制造业升级的最重要环节之一，关键高端新材料是未来高新技术产业发展的基石和先导。材料的纯净化对科技和制造业的影响具大，是材料发展的必然趋势。该文主要阐述了高纯净材料应用前景、意义、发展趋势，以及高纯净材料纯度分析的主要方法。高科技的进一步发展很大程度上取决于制造新功能器件所需的高纯度材料的可用性，材料的进一步纯化已被视为半导体、航空航天、新能源、医疗器械等领域当今及未来的重要战略技术储备。高纯净材料的纯度分析与表征是其纯化工艺中的一个重要环节，对材料性质研究和工艺改进至关重要。该文论述了中子活化法、残余电阻率法、发射光谱法、电感耦合等离子体质谱法、火花源质谱法、辉光放电质谱法、二次离子质谱法等不同固体样品分析技术的特点。在缺乏高纯度标准样品的情况下，研究并确定分析过程中各种物理现象、材料特性、基质效应等溯源量化因子，将会是固体样品分析技术发展重要方向之一。