【摘要】近年来，国家连续出台了一系列支持和鼓励集成电路产业发展的税收优惠政策，且扶持力度不断加大。这些税收优惠政策决策的科学性、执行的有效性、目标的实现度、相关群体的满意度如何是人大、审计、各级政府和社会公众十分关注的问题。因此，有必要对集成电路产业税收优惠政策开展全过程绩效评估。本文通过设定绩效评估指标，召开座谈会、实地调研、问卷调查等方式，采取定性与定量相结合的绩效评估方法，对厦门、苏州、合肥等地集成电路产业税收优惠政策的实施效果进行了全方位绩效评估。根据评估结果，指出了当前我国集成电路产业税收优惠政策执行中存在的问题，提出了完善集成电路产业税收优惠政策的相关建议。