【摘要】该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜（focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM）的三维序列图像配准新方法，即对特定参照物分割后，将Z轴序列图像转化为时间序列图像，利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之间的位错进行纠正，从而达到配准的目的。配准的结果使得Z轴序列图像中锯齿状位错大为减少，图像和结构更清晰完整。针对同一套FIB-SEM序列图像的数据，其纠错效果与传统AMIRA软件实现的配准相比，效果达到预期，操作更加简便有效。该研究为电镜三维图像的位置配准提供了新方法。