【摘要】为了突破传统理论、数值模拟和实验教学的局限性，进一步提升教学质量，培养专业领域创新人才，建设了任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学资源。基于自主研发的任意横向掺杂设计工具miniVLD，对半导体工艺仿真软件、器件模拟软件和版图设计软件进行二次开发，包含掩模板设计、虚拟制造、虚拟测试、版图设计4部分。该虚拟仿真实验具备自主开发、理念先进、综合性、创新性和工程性强等优点，为复杂理论实践教学提供了典型案例。