多功能磷化铟半导体材料的合成与表征
2022-01-04分类号：TQ133.53;TB383.2;TN304
【部门】资源环境科学与工程学院湖北科技学院 电子与信息工程学院湖北科技学院 工学院咸宁职业技术学院
【摘要】利用化学喷雾热解法，在773K温度下，基于玻璃衬底沉积得到了磷化铟薄膜. 进一步研究发现，磷化铟薄膜为立方相多晶，并且优先取向(111)方向，其直接带隙为1.50 eV. 磷化铟薄膜呈现n型导电性，电阻率为5.18×10~(3 )Ω·cm. 因此，磷化铟薄膜材料在未来高频、大功率材料和光电子器件领域具有潜在应用.
【关键词】纳米结构 n型 立方结构 结构特性 电学特性
【基金】国家自然科学基金项目(11747044);; 湖北省教育厅研计划项目(B2020153);; 湖北科技学院科研项目(2020-21X26;2020-22GP01;2019-XB-018;2019-XA-007)
【所属期刊栏目】华中师范大学学报(自然科学版)
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