【摘要】文章基于半导体产业技术创新的主要特点,剔除环境作用、随机干扰等影响,运用三阶段DEA模型对中国40家半导体企业的技术创新效率进行分析与评价。研究结果表明,中国半导体上市公司整体创新效率不高,主要是纯技术效率不高,这与中国半导体产业尚处于成长期有关。在剔除环境因素与随机干扰后,上市公司创新效率有了明显提升。科技市场环境和政府对科技支持能降低研发投入冗余,促进技术创新。经济发展虽能够吸引更多的研发投入,但并不能显著提高创新效率。科技发展水平与研发人员投入冗余正相关,与研发经费投入冗余负相关,这表明研发经费满足了科技发展,但研发人员的"质"跟不上科技创新。