【摘要】全息光栅的微观结构决定了其光学性能,研究微观结构与性能的关系对优化全息光栅性能具有重要的理论和实际意义。采用德国Bruker公司的原子力显微镜Multimode 8系统分析了一批全息光栅的微纳结构,并探讨了微纳结构与全息光栅衍射效率的关系。结果表明:光栅沟槽顶部粗糙度与沟槽深度的比值更能体现衍射效率与光栅微观结构的相关性。当该比值高于0.09时,全息光栅的衍射效率低于60%;而当该比值低于0.04时,全息光栅的衍射效率高于80%。