【摘要】基于价值链理论,把创新过程划分为知识创新、产品创新和市场化创新三个阶段,采用2005～2015年我国省级面板数据就不同集聚模式对高技术产业各阶段创新效率的影响进行实证检验。结果显示:高技术产业不同集聚模式对创新效率的影响效果具有阶段性差异,且这种差异程度具有区域规律性;专业化集聚对产品创新效率的推动力远大于多样化集聚,在同类高技术产业高度集中的西部地区表现更显著。另外,企业支持力度和区域人员素质对各阶段创新效率都具有显著的正向影响,政府支持力度仅对知识和产品创新效率有促进作用,与市场化创新效率负相关。