【摘要】设计了基于压电效应的硅基AlN MEMS(微机械系统)振动能量收集器实验。从实践教学的角度,全面系统地介绍了能量收集器的基本原理、AlN压电薄膜的制备、能量收集器兼容加工工艺流程的设计及优化到原理样机的研制及性能测试,为解决目前传统电源无法满足无线传感网络节点供能的瓶颈问题提供了有效的途径。同时,该实验的成功开展对于仪器科学与技术以及微电子学专业硕士及博士研究生的培养起到了积极的促进的作用。