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开放式光谱椭偏实验教学中的科研训练

2017-09-18分类号:G642;TB302-4

【作者】陈莉  尹鹏和  刘军山  徐征  崔岩  
【部门】大连理工大学机械工程学院  
【摘要】椭偏法在材料的光学性质和薄膜厚度检测中发挥着重要的作用,椭偏测量也已纳入很多高校的实验教学内容。针对实验教学中原理展示性不足、与科研实际结合不紧密的问题,对课程形式和内容进行了改变。制作了光谱椭偏仪器件装配和动态测量视频,增加椭偏测量教学中的原理展示性,加强理论贯通性,联系科研实际,增加实验内容,通过对不同类型样品的测量分析讨论,培养学生解决实际问题的能力和创造性思维。
【关键词】光谱椭偏仪  椭偏实验  折射率  膜厚
【基金】中国学位与研究生教育研究课题(B1-2015Y0504-029);; 大连理工大学教改基金项目(JG2016026,ZD2016008);; 辽宁重大装备制造协同创新中心研究生校内实践基地建设基金项目
【所属期刊栏目】实验技术与管理
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