【摘要】实验室不仅需要配置高水平的超精密加工装备,还需要相应的精密测量仪器。如何正确而有效地利用加工装备和测量仪器,是超精密加工技术专业本科生和研究生必须掌握的能力。利用白光干涉仪和扫描电子显微镜在超精密加工机理研究中的应用,分析精密测量仪器在超精密加工实验室中的重要作用,提出一个具体的方案解决目前精密仪器数量少而学生多的实际问题。