【摘要】为了满足微电子学以及仪器科学与技术等专业实践教学与人才培养的需要,以MEMS加速度开关为应用对象,开展MEMS加工技术综合性实验研究。根据MEMS加速度开关的结构特点,设计加工工艺流程;以MEMS工艺理论知识为基础,结合实践教学,开展湿法腐蚀、阳极键合、ICP刻蚀等关键加工工艺研究,完成MEMS加速度开关原理样品的研制。该实验从器件结构、加工工艺到测试分析,简单直观,有利于学生全面掌握MEMS加工工艺,培养学生的科研兴趣和实践能力。