【摘要】为了解决表面等离子器件尺寸过大、不能通用集成的问题,采用对称梯形、金属-介质-金属结构,设计了一种新型的能够光电集成的硅基波导。设计波导的芯层面积越大局域化强度更高,梯形波导顶角145°时局域因子能够达到96.8%;内部芯层越宽电场局域化程度越高,传输距离越长;当芯宽50nm时,梯形波导间距大于900nm能提高耦合效率、降低干扰的影响。