【摘要】微波等离子体处理木材表面时引起蚀刻，蚀刻程度的大小与离子能量水平，即与等离子体工作条件和等离子体种类密切相关。本文讨论了微波等离子体工作条件即微波功率、系统压力、样品位置（距谐振腔距离）及处理时间对杉木木材蚀刻的影响，并在相同工作条件下，比较了Ｎ２、Ｏ２及空气等离子体对木材蚀刻程度的影响。结果表明：在影响蚀刻作用的诸因素中，样品位置的影响最显著，处理时间、微波功率其次，而系统压力的影响最弱。在本研究的范围内，杉木样品距谐振腔距离越近、等离子体处理时间越长、微波功率越高则蚀刻越严重；在３种等离子体中，Ｏ２等离子体蚀刻最严重，而Ｎ２等离子体最轻微，空气等离子体蚀刻介于两者之间。